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HTW Hochtemperatur-
Werkstoffe GmbH

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Halbleitertechnik

Hohe Reinheit, extreme Korrosionsbeständigkeit, keine Partikelgenerierung, elektrische Leitfähigkeit und gute mechanische Eigenschaften machen glasartigen Kohlenstoff SIGRADUR® zu einem idealen Werkstoff für die Halbleiterfertigung.

In der Herstellung von Halbleitermaterialien wird Glaskohlenstoff SIGRADUR® für wichtige Bauteile wie z.B. Schmelztiegel und Boote für das Zonenschmelzen, die GaAs-Synthese und die Einkristallzüchtung nach dem Bridgman- oder Czochralsky-Verfahren verwendet.

Elektroden aus Glaskohlenstoff SIGRADUR® werden auf Grund der hohen Beständigkeit in Plasmaätzanlagen eingesetzt. Auch für Bauteile in Ionenimplantationsanlagen wird Glaskohlenstoff wegen seiner geringen Erosion verwendet.

Die hohe Röntgentransmission von Glaskohlenstoff SIGRADUR® wird z.B. in der Röntgenlithographie ausgenutzt. Wafer aus Glaskohlenstoff dienen als Substratmaterial für Röntgenmasken.

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